一、MEMS傳感器的原理

　　MEMS的全稱是微型電子機械系統(tǒng)（Micro-ElectroMechanicalSystem），微機電系統(tǒng)是指可批量制作的，將微型機構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統(tǒng)。

　　雖然大部分人對于MEMS還是感到很陌生，但是其實MEMS在我們生產(chǎn)，甚至生活中早已無處不在了，智能手機，健身手環(huán)、打印機、汽車、無人機以及VR/AR頭戴式設(shè)備，部分早期和幾乎所有近期電子產(chǎn)品都應用了MEMS器件。你可以把它理解為利用傳統(tǒng)的半導體工藝和材料，用微米技術(shù)在芯片上制造微型機械，并將其與對應電路集成為一個整體的技術(shù)。所以它是以半導體制造技術(shù)為基礎(chǔ)發(fā)展起來的一種先進的制造技術(shù)平臺。

　　MEMS傳感器是采用微電子和微機械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器。與傳統(tǒng)的傳感器相比，它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實現(xiàn)智能化的特點。同時，在微米量級的特征尺寸使得它可以完成某些傳統(tǒng)機械傳感器所不能實現(xiàn)的功能。

二、MEMS傳感器的分類

　　MEMS傳感器的種類繁多，分類方法也很多。下面是按照工作原理分類如下：

　　其中每一種MEMS傳感器又有很多種細分方法。如加速度計，按檢測質(zhì)量的運動方式劃分，有角振動式和線振動式加速度計等，種類繁多，常見的MEMS傳感器有壓力傳感器、加速度傳感器、微機械陀螺儀、慣性傳感器、MEMS硅麥克風等等; MEMS傳感器的品種多到可以以萬為單位，且不同MEMS之間參量較多，沒有完全標準的工藝。在不同環(huán)境中，在不同環(huán)境，MEMS傳感器的技術(shù)應用也是不同的。