傳感技術(shù)是信息技術(shù)的基石。隨著信息技術(shù)的發(fā)展，對(duì)MEMS傳感技術(shù)提出更高的要求， 也指引未來(lái)發(fā)展的方向：1.向高精度發(fā)展例如精確制導(dǎo);2.向高可靠性、寬溫度范圍發(fā)展;3.向微型化發(fā)展，如各種便攜設(shè)備應(yīng)用;4.向微功耗及無(wú)源化發(fā) 展;5.向網(wǎng)絡(luò)化發(fā)展，與無(wú)線技術(shù)結(jié)合;6.向智能化數(shù)字化發(fā)展，與CPU等結(jié)合。 

　　全球MEMS傳感器市場(chǎng)概況

　　葛霽指出，受全球經(jīng)濟(jì)疲軟影響，全球MEMS傳感器市場(chǎng)增長(zhǎng)速度放緩，預(yù)計(jì)未來(lái)幾年將保持年均8%的復(fù)合增長(zhǎng)率，而主要增長(zhǎng)動(dòng)力來(lái)自消費(fèi)電子領(lǐng) 域特別是手機(jī)領(lǐng)域，汽車(chē)電子領(lǐng)域增幅則有所放緩。未來(lái)幾年平板電腦和智能手機(jī)領(lǐng)域的MEMS傳感器應(yīng)用仍將保持強(qiáng)勁增長(zhǎng)，但產(chǎn)品零售價(jià)呈逐步下降趨勢(shì)。

　　從市場(chǎng)區(qū)域來(lái)看，美國(guó)歐洲市場(chǎng)份額趨于下降。美國(guó)地區(qū)市場(chǎng)份額保持穩(wěn)定，仍是全球高端技術(shù)及產(chǎn)品的重要發(fā)源地，歐洲收到債務(wù)危機(jī)以及汽車(chē)工業(yè)下滑的影響，市場(chǎng)份額略有下降，但是以德國(guó)、芬蘭、法國(guó)為代表的歐洲國(guó)家MEMS傳感器加工產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速。

　　亞太（含日本）地區(qū)則在平板電腦以及智能手機(jī)市場(chǎng)的帶動(dòng)下，市場(chǎng)份額不斷上升，市場(chǎng)地位不斷提升，其中尤以中國(guó)市場(chǎng)的作用不容忽視。

　　具體看中國(guó)MEMS傳感器市場(chǎng)，葛霽指出，受全球經(jīng)濟(jì)疲軟以及國(guó)家謹(jǐn)慎的宏觀政策影響，2011年中國(guó)MEMS傳感器市場(chǎng)增速出現(xiàn)放緩的跡象， 但仍然明顯高于全球增速?！耙环矫嬷袊?guó)的智能手機(jī)、平板電腦、筆記本電腦等整機(jī)產(chǎn)品增長(zhǎng)率強(qiáng)勁，另一方面MEMS傳感器在整機(jī)產(chǎn)品中的滲透率將進(jìn)一步提 高?！?他說(shuō)。

　　中國(guó)MEMS傳感器市場(chǎng)分析

　　從產(chǎn)品結(jié)構(gòu)來(lái)看，壓力傳感器、加速度計(jì)占據(jù)較大份額。他說(shuō)，“壓力傳感器在中國(guó)汽車(chē)電子和醫(yī)療電子產(chǎn)量進(jìn)一步增長(zhǎng)的帶動(dòng)下，市場(chǎng)份額仍居首位， 但在加速度計(jì)的強(qiáng)勢(shì)擴(kuò)張下，其市場(chǎng)份額較2010年下降了1.2個(gè)百分點(diǎn)，為26.5%。2011年，加速度計(jì)在手機(jī)、平板電腦、筆記本等產(chǎn)品產(chǎn)量增長(zhǎng)的 保障下，加上其在整機(jī)中滲透率的進(jìn)一步提高，市場(chǎng)規(guī)模高速增長(zhǎng)，2011年實(shí)現(xiàn)銷(xiāo)售額45.1億元，市場(chǎng)份額從2010年24.1%提高至25.7%，位 列第二。在中國(guó)投影機(jī)、打印機(jī)等產(chǎn)品巨大產(chǎn)量的支撐下，以及在手機(jī)中應(yīng)用范圍的擴(kuò)大，2011年，DMC微鏡陣列、硅麥克風(fēng)以及噴墨打印頭也占有較大市場(chǎng) 份額?！?/p>

　　除了壓力傳感器和加速度計(jì)，陀螺儀增長(zhǎng)也非常迅猛。由于在手機(jī)以及平板中實(shí)現(xiàn)規(guī)?；瘧?yīng)用，陀螺儀近年達(dá)到52%的年平均復(fù)合增長(zhǎng)率。射頻開(kāi)關(guān)與 生物 MEMS器件由于基數(shù)較小，且單價(jià)堅(jiān)挺，預(yù)計(jì)未來(lái)仍將保持高速增長(zhǎng)。唯一出現(xiàn)負(fù)增長(zhǎng)的是噴墨打印頭，由于產(chǎn)業(yè)化較早且技術(shù)相對(duì)簡(jiǎn)單，噴墨打印頭市場(chǎng)已趨于 飽和。

　　從應(yīng)用劃分來(lái)看，2011年，汽車(chē)電子領(lǐng)域MEMS傳感器增速放緩，實(shí)現(xiàn)銷(xiāo)售額62.8億元，但整體規(guī)模以及產(chǎn)品價(jià)格都還高于3C應(yīng)用領(lǐng)域，繼 續(xù)領(lǐng)跑中國(guó)MEMS傳感器市場(chǎng)。網(wǎng)絡(luò)與通信領(lǐng)域MEMS傳感器市場(chǎng)規(guī)模為43.2億元，市場(chǎng)份額由2010年的22.9%上升至24.6%，增速為所有領(lǐng) 域最快。加速度計(jì)、硅麥克風(fēng)在手機(jī)中應(yīng)用比例持續(xù)提高，一些新型產(chǎn)品如更小尺寸的DMD以及MEMS激光掃描儀、地磁傳感器以及微型機(jī)械陀螺儀也開(kāi)始在智 能手機(jī)中得到規(guī)?；瘧?yīng)用，從而助推了該領(lǐng)域MEMS傳感器市場(chǎng)規(guī)模的快速擴(kuò)大，但是隨著中國(guó)汽車(chē)工業(yè)和汽車(chē)電子產(chǎn)業(yè)前兩年的飛速發(fā)展，增速有所放緩。而 2011年平板電腦的快速發(fā)展使得計(jì)算機(jī)領(lǐng)域加速度傳感器需求進(jìn)一步攀升。計(jì)算機(jī)領(lǐng)域成為中國(guó)MEMS傳感器的第三大應(yīng)用市場(chǎng)，市場(chǎng)規(guī)模為37.1億元， 市場(chǎng)份額為21.1%。

　　從MEMS傳感器的品牌結(jié)構(gòu)來(lái)看，目前中國(guó)市場(chǎng)仍為外資廠商掌握，排名前十的MEMS傳感器廠商占據(jù)了50%以上的市場(chǎng)份額。

　　2011年，受益于中國(guó)計(jì)算機(jī)、通信領(lǐng)域整機(jī)產(chǎn)量增長(zhǎng)，以及手機(jī)、平板電腦等3C產(chǎn)品中MEMS傳感器應(yīng)用比重的不斷提高，專(zhuān)注于上述領(lǐng)域的 ST、 TI等廠商地位進(jìn)一步鞏固。此外，飛思卡爾、ADI等廠商因其在消費(fèi)電子、汽車(chē)電子、工業(yè)控制等多個(gè)領(lǐng)域的廣泛涉足而在中國(guó)MEMS傳感器市場(chǎng)取得較好成 績(jī)。專(zhuān)業(yè)MEMS傳感器廠商Triquint在RF MEMS領(lǐng)域的優(yōu)勢(shì)表現(xiàn)，也使得其進(jìn)入中國(guó)十大MEMS供應(yīng)商之列。博世等整機(jī)型MEMS傳感器企業(yè)市場(chǎng)份額較2010年有所下降。

　　中國(guó)MEMS傳感器市場(chǎng)預(yù)測(cè)

　　葛霽指出，2012年至2014年，中國(guó)MEMS傳感器市場(chǎng)將繼續(xù)保持兩位數(shù)增長(zhǎng)，到2014年，中國(guó)MEMS傳感器市場(chǎng)銷(xiāo)售額預(yù)計(jì)將達(dá)到 246.6億元。未來(lái)三年，在中國(guó)3C產(chǎn)品、汽車(chē)電子、醫(yī)療電子等產(chǎn)品產(chǎn)量繼續(xù)保持穩(wěn)定增長(zhǎng)，特別是以手機(jī)和平板電腦為代表的3C產(chǎn)品快速增長(zhǎng)的帶動(dòng)下， 中國(guó)MEMS傳感器市場(chǎng)規(guī)模有望進(jìn)一步擴(kuò)大。

　　從產(chǎn)品結(jié)構(gòu)看，他認(rèn)為加速度計(jì)將居于首位?！凹铀俣扔?jì)在3C產(chǎn)品中的滲透率不斷提高，并在平板電腦中成為標(biāo)配，未來(lái)三年，這一產(chǎn)品市場(chǎng)份額將居 于首位。同時(shí)陀螺儀等產(chǎn)品隨著技術(shù)的進(jìn)一步成熟，整機(jī)滲透率的進(jìn)一步提高，以及相應(yīng)整機(jī)產(chǎn)品產(chǎn)量的繼續(xù)擴(kuò)大，由于其市場(chǎng)基數(shù)較小，其市場(chǎng)規(guī)模也將呈現(xiàn)高速 增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)。噴墨打印頭則隨著打印機(jī)產(chǎn)量的穩(wěn)定，該類(lèi)細(xì)分市場(chǎng)未來(lái)三年增長(zhǎng)乏力現(xiàn)象將持續(xù)。”

　　從應(yīng)用結(jié)構(gòu)來(lái)看，葛霽指出計(jì)算機(jī)將成為最活躍的領(lǐng)域。未來(lái)三年，中國(guó)汽車(chē)電子產(chǎn)業(yè)增長(zhǎng)將會(huì)有所放緩，對(duì)應(yīng)的汽車(chē)電子領(lǐng)域MEMS傳感器市場(chǎng)增速 也將會(huì)有所放緩，但是由于汽車(chē)電子領(lǐng)域MEMS市場(chǎng)規(guī)模較大，所以到2014年，這一領(lǐng)域MEMS傳感器市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)77.2億元，仍然為中國(guó)MEMS傳 感器市場(chǎng)最大的應(yīng)用領(lǐng)域。

　　未來(lái)中國(guó)網(wǎng)絡(luò)通信和計(jì)算機(jī)領(lǐng)域?qū)⑹荕EMS傳感器市場(chǎng)增速最快的兩個(gè)領(lǐng)域，其中計(jì)算機(jī)領(lǐng)域在平板電腦爆發(fā)式增長(zhǎng)的帶動(dòng)下，成為最為活躍的一個(gè)領(lǐng)域。

　　消費(fèi)電子在數(shù)碼相機(jī)、攝像機(jī)以及多媒體播放機(jī)等整機(jī)產(chǎn)品增速難以進(jìn)一步突破的局限下，其產(chǎn)品市場(chǎng)增速難以提高。

　　中國(guó)MEMS傳感器市場(chǎng)趨勢(shì)分析

　　葛霽從產(chǎn)品、技術(shù)、價(jià)格和應(yīng)用四個(gè)方面分析了未來(lái)中國(guó)MEMS傳感器市場(chǎng)的發(fā)展趨勢(shì)。

　　產(chǎn)品：主力產(chǎn)品性能優(yōu)化，如加速度計(jì)、壓力傳感器、噴墨打印頭等尺寸、功耗等方面的改進(jìn)。 便攜產(chǎn)品尺寸縮小，如DMD微鏡陣列等;新型產(chǎn)品規(guī)模應(yīng)用，如地磁傳感器等;前沿產(chǎn)品投入研發(fā)，如新型MEMS振蕩器、基于MEMS技術(shù)的存儲(chǔ)器、MEMS電池等。

　　技術(shù)：系統(tǒng)集成，從單獨(dú)的芯片向模塊和系統(tǒng)解決方案升級(jí);標(biāo)準(zhǔn)工藝，MEMS傳感器產(chǎn)品生產(chǎn)工藝進(jìn)一步開(kāi)發(fā)以及MEMS與COMS工藝仍將進(jìn)一 步融合，以推動(dòng)MEMS傳感器標(biāo)準(zhǔn)工藝的建立。此外，為進(jìn)一步降低產(chǎn)品成本，8英寸MEMS傳感器生產(chǎn)線數(shù)量逐步增多，而獨(dú)立的MEMS傳感器代工廠數(shù)量 的增多，也為MEMS傳感器大規(guī)模制造技術(shù)的發(fā)展創(chuàng)造了有利的產(chǎn)業(yè)發(fā)展環(huán)境。

　　葛霽說(shuō)，“歷史上曾經(jīng)有許多新工藝都曾號(hào)稱要取代硅CMOS工藝，但最后的結(jié)局都是與CMOS工藝融合了，MEMS工藝也不會(huì)例外。特別是成本 下降的趨勢(shì)下，走向標(biāo)準(zhǔn)的工藝?yán)诖笠?guī)模制造降低成本。當(dāng)然也不排除一些廠商會(huì)做一些定制、高端的產(chǎn)品，但整體的趨勢(shì)是走向標(biāo)準(zhǔn)化。”

　　價(jià)格：手機(jī)、數(shù)碼相機(jī)、筆記本、平板電腦等3C領(lǐng)域MEMS傳感器產(chǎn)品價(jià)格下降最快，與之相對(duì)，汽車(chē)電子、醫(yī)療電子等領(lǐng)域中因整機(jī)產(chǎn)品對(duì)價(jià)格不 敏感，因而其中的加速度、壓力傳感器等MEMS傳感器產(chǎn)品價(jià)格降幅相對(duì)較小。而MEMS噴墨打印頭、硅麥克風(fēng)等產(chǎn)品性能及應(yīng)用等均已成熟，產(chǎn)品價(jià)格也趨于 穩(wěn)定，一些新產(chǎn)品新應(yīng)用如用在便攜設(shè)備中的微機(jī)械陀螺儀、地磁傳感器等產(chǎn)品價(jià)格則下降較快。

　　應(yīng)用：葛霽強(qiáng)調(diào)說(shuō)汽車(chē)電子仍是目前中國(guó)MEMS傳感器最大的應(yīng)用市場(chǎng)，但以平板電腦為代表的計(jì)算機(jī)領(lǐng)域和以手機(jī)為代表的通訊領(lǐng)域確是目前最為活 躍的兩個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域。目前，加速度傳感器和陀螺儀已成為了平板電腦的標(biāo)配，而一款高端手機(jī)可能已經(jīng)裝配有加速度傳感器、硅麥克風(fēng)、DMD微鏡陣列、地磁傳感 器、陀螺儀、FBAR雙工器、MEMS RF射頻模塊、MEMS激光掃描儀等數(shù)種MEMS產(chǎn)品。

　　另外他特別指出，中國(guó)醫(yī)療電子特別是便攜醫(yī)療電子產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，也使得這一領(lǐng)域MEMS傳感器產(chǎn)品需求快速釋放，而消費(fèi)電子領(lǐng)域在多媒體產(chǎn)品增速不高的影響下，未來(lái)發(fā)展相對(duì)平衡。

　　未來(lái)中國(guó)市場(chǎng)預(yù)測(cè)與展望

　　“到2014年，中國(guó)市場(chǎng)規(guī)模增速將保持兩位數(shù)，加速度計(jì)市場(chǎng)份額將位居首位，網(wǎng)絡(luò)與通信及計(jì)算機(jī)領(lǐng)域應(yīng)用增速較快，不斷接近甚至超過(guò)汽車(chē)電子 領(lǐng)域市場(chǎng)規(guī)模，”葛霽說(shuō)。為此他從國(guó)家及企業(yè)兩方面提出了一些建議。對(duì)于國(guó)家，他認(rèn)為應(yīng)該抓住大力發(fā)展物聯(lián)網(wǎng)時(shí)機(jī)，針對(duì)某些產(chǎn)品部署一系列扶持政策，比如 基于 MEMS的流量傳感器和加速度計(jì)智能電表。

　　建立一批產(chǎn)業(yè)基地，給予相關(guān)優(yōu)惠政策，比如沈陽(yáng)建設(shè)的傳感器工業(yè)園;積極打造產(chǎn)業(yè)鏈，建立設(shè)計(jì)、制造、封裝及測(cè)試平臺(tái)，充分發(fā)揮人力成本優(yōu)勢(shì)， 參與國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)。對(duì)于企業(yè)，他認(rèn)為它們應(yīng)該抓住中國(guó)市場(chǎng)熱點(diǎn)，切入細(xì)分領(lǐng)域，打造特色產(chǎn)品。而有實(shí)力的IC制造企業(yè)，則應(yīng)該積極開(kāi)展特色晶圓代工業(yè)務(wù)，把工藝標(biāo)準(zhǔn)化與高度靈活性和定制化開(kāi)發(fā)結(jié)合起來(lái)。