來自Novacam的光學(xué) 3D 輪廓儀TM系統(tǒng)可用于非接觸式3D表面和厚度測(cè)量，即使在難以觸及的空間如鉆孔、管道等，也可進(jìn)行非接觸式微米級(jí)精度3D測(cè)量，獲取尺寸、粗糙度、缺陷、振動(dòng)或厚度數(shù)據(jù)。

光學(xué)3D輪廓儀TM系統(tǒng)

系統(tǒng)組件

NOVACAMTM光學(xué)3D輪廓儀TM是一個(gè)模塊化系統(tǒng)，它的檢測(cè)能力由其組件共同決定。

主要包括以下組件：

1光學(xué)側(cè)視或前視探頭：有幾種標(biāo)準(zhǔn)尺寸和長度可選，也可以定制

2MICROCAM干涉儀：為光學(xué)探頭提供光源，并處理從探頭接收到的光信號(hào)

3運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)

4PC、顯示器和操縱桿

光學(xué)3D輪廓儀TM系統(tǒng)

特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)

NOVACAMTM光學(xué)3D輪廓儀TM系統(tǒng)擁有基于光纖的探頭，易于與精密載物臺(tái)、第三方坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、數(shù)控機(jī)床或機(jī)器人集成，以支持大量的流水線工作。

系統(tǒng)優(yōu)勢(shì)：

可用于測(cè)量狹窄空間內(nèi)部、特殊形狀物體外形、平面光滑度以及邊緣線性度

對(duì)被測(cè)物體的表面反射度沒有要求(從鏡面到全黑都可測(cè)量)

高速測(cè)量，每秒高達(dá)100,000個(gè)3D點(diǎn)

能夠測(cè)量靜止及運(yùn)動(dòng)的物體，包括固體或液體、孔和管的內(nèi)部、圓柱體的外部等

光學(xué)3D輪廓儀TM系統(tǒng)

應(yīng)用場景

Novacam光學(xué)3D輪廓儀TM系統(tǒng)的探測(cè)器探頭基于光纖的特性，在光學(xué)計(jì)量行業(yè)中具有獨(dú)特優(yōu)勢(shì)，在航空航天、汽車、電力、國防、醫(yī)療儀器、電子等多個(gè)領(lǐng)域都有應(yīng)用。應(yīng)用場景包括尺寸測(cè)量、粗糙度測(cè)量、缺陷檢測(cè)（如裂紋、劃痕）、半透明材料的厚度測(cè)量等。

1尺寸測(cè)量

在XY載物臺(tái)上使用光學(xué)3D輪廓儀TM系統(tǒng)采集的硅晶圓表面

2粗糙度

線性粗糙度參數(shù)，粗糙度顯示為高度和強(qiáng)度圖像

3厚度測(cè)量

可用于測(cè)量單層或多層、透明或半透明材料。圖為人工晶狀體的2D橫截面

4缺陷測(cè)量

噴氣發(fā)動(dòng)機(jī)渦輪盤上樅樹型插槽的3D幾何形狀和缺陷

*以上產(chǎn)品及應(yīng)用圖片均來自Novacam