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FMA3100系列質(zhì)量流量傳感器代表著質(zhì)量流量傳感器技術(shù)領(lǐng)域的突破。先進(jìn)的電子器件、緊湊的機(jī)械設(shè)計(jì)以及批量生產(chǎn)加工理念在這一高性能、低成本的產(chǎn)品中集中體現(xiàn)。氣體流量傳感器適合多種OEM應(yīng)用。0 ~ 5 Vdc線性輸出作為標(biāo)準(zhǔn)輸出信號(hào)。
FMA3200質(zhì)量流量控制器外形小巧，它利用基本的FMA3100熱式質(zhì)量流量傳感器提供精確、穩(wěn)定的氣體流量控制。在斷電模式下，流量控制閥關(guān)閉，同時(shí)泄漏率最低。這種具成本效益的控制器是眾多OEM應(yīng)用的理想之選，它提供0 ~ 5 Vdc線性輸出并接收0 ~ 5 Vdc的控制輸入。
FMA3300在FMA3100流量計(jì)功能的基礎(chǔ)上增加了一個(gè)可調(diào)節(jié)3位半數(shù)字LCD數(shù)字顯示儀表，用于查看以工程單位（即mL/min或L/min）顯示的流量。已經(jīng)證實(shí)，這些緊湊型流量計(jì)在很多實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用中效果顯著。

規(guī)格:
輸出： 0 ~ 5 Vdc（最小值2500 ?）
輸入設(shè)定電壓
（僅FMA3200）： 0 ~ 5 Vdc
精度： 滿量程的±1.5%*
重復(fù)性： 滿量程的±0.5%
響應(yīng)時(shí)間： 在滿量程的25 ~ 100%范圍大約2秒（常規(guī)）達(dá)到設(shè)定流速的±2%內(nèi)
工作環(huán)境： 10 ~ 50°C (50 ~ 122°F)，無冷凝空氣
工作壓力范圍： 25°C (77°F)時(shí)達(dá)到最大值150 psi
溫度系數(shù)： 每°C為±0.2%
壓力系數(shù)： 每psi為±0.02%
泄漏完整性： 對(duì)于外界環(huán)境，最大值為1x10-4SCCS氦氣
輸入電源：
FMA3100和FMA3300： 12 ~ 15 Vdc，100 mA (1.5 W)
FMA3200： 12 ~ 15 Vdc，250 mA (3.75 W)
連接口： 流速達(dá)到1 L/min時(shí)，采用?"壓合接頭；流速達(dá)到5 L/min時(shí)，采用?" 壓合接頭；流速達(dá)到10 L/min時(shí)，采用?"壓合接頭
接液材質(zhì)： 陽極氧化鋁、氟橡膠O形圈、304和316不銹鋼、環(huán)氧樹脂、乙縮醛壓合管接頭（標(biāo)配）
量程比： 10:1
氣體： 大部分潔凈、干燥氣體（例如，空氣、氮?dú)?、二氧化碳、氬氣、氫氣、氦氣、甲烷、氧氣?br/>過濾：如果氣體中含有任何顆粒物質(zhì)，需要使用20微米過濾器
規(guī)格（FMA3200流量控制器）
壓差： 15 ~ 40 psi
閥門工作壽命： >1百萬次循環(huán)；閥門處于常閉狀態(tài)
閥門處的泄漏率： 0.2 SCCM或低于滿量程的2%，以較大值為準(zhǔn)
控制量程： 50:1
遠(yuǎn)程設(shè)定電壓： 0 ~ 5 Vdc
重量：
FMA3100： 199 g (0.44 lb)
FMA3300： 249 g (0.55 lb)
FMA3200： 386 g (0.85 lb)
不帶接頭的尺寸（近似值）：
FMA3100： 47（長(zhǎng)）x 26（寬）x 90 mm（高）(1.87 x 1.03 x 3.55")
FMA3300： 47（長(zhǎng)）x 26（寬）x 127 mm（高）(1.87 x 1.03 x 5.0")
FMA3200： 81（長(zhǎng)）x 26（寬）x 97 mm（高）(3.17 x 1.03 x 3.80")

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