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TELEDYNE DALSA MEMS應(yīng)用-壓力傳感器

供稿:TELEDYNE DALSA

  • 關(guān)鍵詞:Teledyne,DALSA,MEMS,壓力傳感器
  • 摘要:Teledyne DALSA擁有超過10年制造MEMS壓力傳感器的經(jīng)驗,包括壓阻式和電容式兩種類型,應(yīng)用遍布各種各樣的汽車和工業(yè)領(lǐng)域。壓阻傳感器的關(guān)鍵技術(shù)是離子注入(惠斯登電橋),腔體的電化學蝕刻(KOH或TMAH)和用于密封所述腔體的和晶片直接鍵合。

MEMS應(yīng)用

從手機的RF芯片,通訊光交叉連接到游戲控制器的陀螺儀,汽車壓力傳感器和用于汽車的慣性傳感器到小型化的醫(yī)療系統(tǒng)用的微流體器件,Teledyne DALSA都已經(jīng)量產(chǎn),并且為這些創(chuàng)新的MEMS應(yīng)用提高性能的同時降低尺寸和功耗。聯(lián)系我們,討論MEMS制造的挑戰(zhàn) Contact us today to discuss your MEMS fabrication challenges.

MEMS應(yīng)用: 壓力傳感器  運動傳感器  BioMEMS  微鏡  硅通孔  射頻MEMS

壓力傳感器

>>汽車傳感器,麥克風

壓力傳感器和麥克風

Teledyne DALSA擁有超過10年制造MEMS壓力傳感器的經(jīng)驗,包括壓阻式和電容式兩種類型,應(yīng)用遍布各種各樣的汽車和工業(yè)領(lǐng)域。壓阻傳感器的關(guān)鍵技術(shù)是離子注入(惠斯登電橋),腔體的電化學蝕刻(KOH或TMAH)和用于密封所述腔體的和晶片直接鍵合。

在MEMS領(lǐng)域里, 硅麥克風可能會被視為一種特殊形式的電容式壓力傳感器。在Teledyne DALSA,一個典型的麥克風制程使用原位摻雜的多晶硅和低應(yīng)力氮化物以控制薄膜中應(yīng)力,并DRIE蝕刻形成空腔。

發(fā)布時間:2013年7月4日 16:17  人氣:  
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