TELEDYNE DALSA MEMS應(yīng)用－微鏡
- 關(guān)鍵詞：Teledyne,DALSA,微鏡
- 摘要：在制造高性能的靜電微鏡方面，Teledyne DALSA擁有無(wú)與倫比的經(jīng)驗(yàn)。 微鏡器件已經(jīng)廣泛應(yīng)用于電信系統(tǒng)中的VOA或WSS功能，以及在微型投影儀的激光束轉(zhuǎn)向應(yīng)用。
MEMS應(yīng)用
從手機(jī)的RF芯片，通訊光交叉連接到游戲控制器的陀螺儀，汽車壓力傳感器和用于汽車的慣性傳感器到小型化的醫(yī)療系統(tǒng)用的微流體器件，Teledyne DALSA都已經(jīng)量產(chǎn)，并且為這些創(chuàng)新的MEMS應(yīng)用提高性能的同時(shí)降低尺寸和功耗。聯(lián)系我們，討論MEMS制造的挑戰(zhàn) Contact us today to discuss your MEMS fabrication challenges.
MEMS應(yīng)用： 壓力傳感器 運(yùn)動(dòng)傳感器 BioMEMS 微鏡 硅通孔 射頻MEMS
微鏡
>>光學(xué)MEMS，應(yīng)用于電信或者其他更多領(lǐng)域
微鏡制造
在制造高性能的靜電微鏡方面，Teledyne DALSA擁有無(wú)與倫比的經(jīng)驗(yàn)。 微鏡器件已經(jīng)廣泛應(yīng)用于電信系統(tǒng)中的VOA或WSS功能，以及在微型投影儀的激光束轉(zhuǎn)向應(yīng)用。微鏡的制造中的關(guān)鍵技術(shù)，包括SOI設(shè)備層轉(zhuǎn)移和體微機(jī)械加工，其中為確保一致的鏡偏轉(zhuǎn)，極其嚴(yán)密的單晶硅層控制是必要的，當(dāng)然，高品質(zhì)的鏡面金屬沉積也是關(guān)鍵。此外因?yàn)榉瓷溏R面上單獨(dú)一顆粒子的存在就可降低微鏡的光學(xué)品質(zhì)，污染來(lái)源也是被嚴(yán)格控制的。我們已經(jīng)開(kāi)發(fā)了電子光學(xué)測(cè)試程序，確保每片晶圓（或者每個(gè)器件，如果需要）符合產(chǎn)品規(guī)格。
微鏡驅(qū)動(dòng)
| 我們參與制造的微鏡陣列的經(jīng)驗(yàn)是我們認(rèn)識(shí)到，市場(chǎng)上沒(méi)有現(xiàn)成的微鏡陣列驅(qū)動(dòng)和控制的解決方案可以滿足現(xiàn)有不同產(chǎn)品和應(yīng)用的需求，所以我們自己設(shè)計(jì)了使用Teledyne DALSA高壓CMOS技術(shù)生產(chǎn)的驅(qū)動(dòng)和控制ASIC。它們是240V, 96 通道的 DH9685 (數(shù)字)和 DH9665 (模擬)。我們的工程師團(tuán)隊(duì)也可以為客戶設(shè)計(jì)完全訂制的高壓ASIC驅(qū)動(dòng)和控制電路，來(lái)滿足客戶在微鏡和其他MEMS應(yīng)用的需求。 More information: |
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